- Все
- Управление продуктами
- Новости и информация
- Введение к содержанию
- Филиалы предприятия
- Часто задаваемые вопросы
- Корпоративное видео
- Корпоративный альбом
ПРОДУКЦИЯ
СВЯЖИТЕСЬ С НАМИ
ТЯНЧЭНГ ЦЯН ХАЙ
Тел: +86 177-4865-5349
Электронная почта: sophia@tcqh-cn.com
Rip Li: 8618820461185
Электронная почта: lirp@tcqh-cn.com
Moon Zeng: 8618873738525
Email: tcqh_sz@163.com
Керамика из нитрида алюминия для электростатического зажима
Ключевое: Керамика из нитрида алюминия для электростатического зажима
Описание
1. Материал: Нитрид алюминия.
2. Функция: Изоляционная и теплоотводящая керамика.
3. Тип: Керамический.
4. Цвет: серый.
5. Возможность изготовления на заказ: да, пожалуйста, предоставьте чертежи для конкретных изделий.
Подробные сведения о продукте:
Керамика из нитрида алюминия для электростатического зажима
Описание продукта:
Электростатический зажим (ESC) используется в различных полупроводниковых процессах для удержания пластины во время обработки. В ESC применяется платина с интегрированными электродами, к которым подаётся высокое напряжение, создавая электростатическую силу удержания между платиной и пластиной и тем самым «зажимая» пластину. Керамика из нитрида алюминия обладает высокой теплопроводностью и изоляционными свойствами, что делает её подходящим материалом для ESC.
Наши подложки из нитрида алюминия (AlN) доступны в различных размерах и толщинах. Благодаря большому и актуальному запасу мы можем быстро отправить вам деталь, чтобы вы могли приступить к реализации своего проекта.
Наш сервис:
Пожалуйста, свяжитесь с нами для заказа индивидуальной настройки. Мы также можем поставить керамику из нитрида алюминия (AlN) с теплопроводностью до 230 Вт/мК.
Спецификация:
| Размер (ДхШ) | φ170 мм и т.д. |
| Толщина |
10 мм и т.д. |
| Теплопроводность |
170W/m.K |
| Диэлектрическая постоянная |
8-9 (МГц) |
| Объемная плотность |
3,3 г/см 3 |
| Шероховатость поверхности |
Ra ≤ 6 мкм с обеих сторон |
Сопутствующие
Отправить мне запрос
Примечание: Пожалуйста, оставьте свой адрес электронной почты — наши специалисты свяжутся с вами как можно скорее!
